本公开公开了一种主动隔振系统。主动隔振系统包括多台主动隔振装置，该主动隔振装置具有：将被支承体弹性地支承在基础上的螺旋弹簧；检测被支承体以及基础的振动状态的传感器；对被支承体施加控制力的致动器；控制器，其基于传感器已检测出的振动状态来控制致动器，以便对被支承体施加用于减轻被支承体的振动以及从基础传递到被支承体的振动的控制力。各隔振装置以支承被支承体的方式布置在基础上相互不同的位置。各隔振装置的控制器构成为：基于传感器已检测出的、被支承体及基础的与该布置位置对应的部分的振动状态，独立于其他隔振装置

　　(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114623188 A (43)申请公布日 2022.06.14 (21)申请号 9.5 F16F 15/03 (2006.01) F16F 15/02 (2006.01) (22)申请日 2021.11.23 G01M 7/02 (2006.01) (30)优先权数据 2020.12.08 JP 2021.02.26 JP (71)申请人 仓敷化工株式会社 地址 日本冈山县仓敷市连岛町矢柄四之町 4630番地 (72)发明人 太田宽人高桥伸悟山本修司 藤原靖也 (74)专利代理机构 北京派特恩知识产权代理有 限公司 11270 专利代理师 李雪姚开丽 (51)Int.Cl. F16F 15/067 (2006.01) 权利要求书1页 说明书8页 附图6页 (54)发明名称 主动隔振系统 (57)摘要 本公开公开了一种主动隔振系统。主动隔振 系统包括多台主动隔振装置，该主动隔振装置具 有：将被支承体弹性地支承在基础上的螺旋弹 簧；检测被支承体以及基础的振动状态的传感 器；对被支承体施加控制力的致动器；控制器，其 基于传感器已检测出的振动状态来控制致动器， 以便对被支承体施加用于减轻被支承体的振动 以及从基础传递到被支承体的振动的控制力。各 隔振装置以支承被支承体的方式布置在基础上 相互不同的位置。各隔振装置的控制器构成为： 基于传感器已检测出的、被支承体及基础的与该 布置位置对应的部分的振动状态，独立于其他隔 A 振装置的控制器，单独地对被支承体的与该布置 8 位置对应的部分施加控制力。因此能够以简单的 8 1 3 结构来提升隔振性能。 2 6 4 1 1 N C CN 114623188 A 权利要求书 1/1页 1.一种主动隔振系统，其特征在于：包括多台主动隔振装置，该主动隔振装置具有弹性 体、振动检测单元、致动器以及控制单元， 所述弹性体将被支承体弹性地支承在基础上， 所述振动检测单元检测前述被支承体及前述基础中的至少一者的包括铅垂方向及水 平方向的至少三个平移方向的振动状态， 所述致动器对所述被支承体施加控制力， 所述控制单元基于所述振动检测单元已检测出的所述振动状态来控制所述致动器，以 便对所述被支承体施加控制力，该控制力用于减轻所述被支承体的振动及从所述基础传递 到所述被支承体的振动中的至少一者； 各所述主动隔振装置以支承所述被支承体的方式布置在所述基础上相互不同的位置； 所述控制单元构成为：基于所述振动检测单元已检测出的所述被支承体及所述基础中 的至少一者的与该布置位置对应的部分的所述振动状态，独立于其他所述主动隔振装置的 所述控制单元，单独地对所述被支承体的与所述布置位置对应的部分施加所述控制力。 2.根据权利要求1所述的主动隔振系统，其特征在于： 所述致动器以相对于所述基础倾斜的状态布置。 3.根据权利要求2所述的主动隔振系统，其特征在于： 所述振动检测单元以相对于所述基础倾斜的状态布置， 所述致动器的倾斜角度与所述振动检测单元的倾斜角度彼此相等。 4.根据权利要求1到3中任一项权利要求所述的主动隔振系统，其特征在于： 所述各主动隔振装置以相互不接触的状态布置。 2 2 CN 114623188 A 说明书 1/8页 主动隔振系统 技术领域 [0001] 本公开涉及一种主动隔振系统。 背景技术 [0002] 已知有一种主动隔振装置，其对被支承体施加减轻规定方向上的振动的控制力， 主动隔振装置将被支承体弹性地支承在基础上。 [0003] 例如，专利文献1所公开的主动隔振装置构成为：通过相对于铅垂轴倾斜地布置包 括致动器和振动传感器的振动控制单元，而使致动器的驱动力相对于铅垂轴倾斜地作用于 被支承体。 [0004] 根据该结构，通过一个振动控制单元，能够抑制包括铅垂方向和水平方向的分量 的振动，能够提升致动器的布置自由度。在现有的正交布置下因布置平衡较差而进行8点控 制的，这样一来便能够进行6点控制。因此，能够简化主动隔振装置的结构，防止装置的庞大 化、组装工时的增加或者制造成本的增加。 [0005] 专利文献1：日本公开专利公报特开2012‑47308号公报 发明内容 [0006] －发明要解决的技术问题－ [0007] 但是，这种主动隔振装置一般采用将被支承体视为刚体的刚体模型，对整个被支 承体进行单一的振动状态检测，根据已检测出的被支承体整体的振动状态来进行隔振控 制。 [0008] 然而，被支承体并非完全的刚体，因此被支承体的振动状态有因部位的不同而不 同的情况。在基于被支承体整体的振动状态进行的上述控制方法中，尽管被支承体的振动 状态按每个部位会有差异，但仍然一律地对整个被支承体进行单一的振动状态检测，因此 难以发挥充分的隔振性能。基础的振动状态也一样。 [0009] 本公开正是为解决上述问题而完成的。其主要目的在于：作为主动隔振系统以简 单的结构来实现隔振性能的提升。 [0010] －用于解决技术问题的技术方案－ [0011] 本公开所涉及的主动隔振系统包括多台主动隔振装置，该主动隔振装置具有弹性 体、振动检测单元、致动器以及控制单元。所述弹性体将被支承体弹性地支承在基础上；所 述振动检测单元检测所述被支承体及所述基础中的至少一者的包括铅垂方向及水平方向 的至少三个平移方向的振动状态；所述致动器对所述被支承体施加控制力；所述控制单元 基于所述振动检测单元已检测出的所述振动状态来控制所述致动器，以便对所述被支承体 施加控制力，该控制力用于减轻所述被支承体的振动及从所述基础传递到所述被支承体的 振动中的至少一者。各所述主动隔振装置以支承所述被支承体的方式布置在所述基础上相 互不同的位置；所述控制单元构成为：基于所述振动检测单元已检测出的所述被支承体及 所述基础中的至少一者的与该布置位置对应的部分的所述振动状态，独立于其他所述主动 3 3 CN 114623188 A 说明书 2/8页 隔振装置的所述控制单元，单独地对所述被支承体的与所述布置位置对应的部分施加所述 控制力。 [0012] 根据该结构，能够基于主动隔振装置的每个不同布置位置的振动状态，来个别地 进行隔振控制。因此，与基于被支承体整体或者基础整体的振动状态进行的控制方法相比， 能够充分地发挥隔振性能。 [0013] 由于仅通过多台主动隔振装置来支承被支承体即可，因此结构简单。 [0014] 如上所述，主动隔振系统能够以简单的结构来实现隔振性能的提升。 [0015] 在一个实施方式中，所述致动器以相对于所述基础倾斜的状态布置。 [0016] 根据该结构，由于致动器相对于基础倾斜，因此通过一个致动器即能够在铅垂方 向及水平方向这两个方向上对被支承体施加控制力。这样一来，便能够提升致动器的布局 自由度。因此，与各致动器相对于基础不倾斜而仅布置在铅垂方向及水平方向的情况相比， 能够减少致动器的个数。 [0017] 在一个实施方式中，所述振动检测单元以相对于所述基础倾斜的状态布置，所述 致动器的倾斜角度与所述振动检测单元的倾斜角度彼此相等。 [0018] 根据该结构，振动检测单元相对于基础倾斜，因此能够通过一个振动检测单元来 检测被支承体或基础在铅垂方向和水平方向这两个方向上的振动状态。这样一来，便能够 提升振动检测单元的布局自由度。因此，与各振动检测单元相对于基础不倾斜而仅布置在 铅垂方向及水平方向的情况相比，能够减少振动检测单元的个数。 [0019] 进而，由于振动检测单元已检测出的振动状态的方向与致动器施加控制力的方向 彼此一致，因此不需要执行两者之间的角度变换，控制单元的结构变得简单。 [0020] 在一个实施方式中，所述各主动隔振装置以相互不接触的状态布置。 [0021] 根据该结构，能够抑制各主动隔振装置之间的控制力的相互干扰。 [0022] －发明的效果－ [0023] 根据本公开，主动隔振系统能够以简单的结构来实现隔振性能的提升。 附图说明 [0024] 图1是表示本公开所涉及的主动隔振系统的概略构成的立体图； [0025] 图2是表示各主动隔振装置的内部构造的俯视图； [0026] 图3是表示致动器及被支承体侧振动传感器的概略构成的主视图； [0027] 图4是表示基础侧振动传感器的概略构成的主视图； [0028] 图5是表示主动隔振系统整体的控制方式的方框图； [0029] 图6是表示实施例及比较例所涉及的主动隔振系统的隔振性能的图表。 [0030] －符号说明－ [0031] θ－倾斜角度；1－主动隔振系统；2－基础；3－被支承体；4－精密设备；5－工作 台；5b－腿部；20－主动隔振装置；21－上板；23－下板；24－螺旋弹簧(弹性体)；25－致动 器；26－基础侧振动传感器(振动检测单元)；27－被支承体侧振动传感器(振动检测单元)； 28－控制器(控制单元)。 4 4 CN 114623188 A 说明书 3/8页 具体实施方式 [0032] 以下，基于附图详细地说明本公开的实施方式。以下的优选实施方式的说明本质 上只不过是示例，完全没有对本公开、其应用对象或其用途加以限制的意图。在本实施方式 中，如图1所示，将沿着基础延伸且彼此正交的水平两个方向设为X方向及Y方向，将与基础 正交的铅垂方向设为Z方向。也有时将X方向称为左右方向，将Y方向称为前后方向，将Z方向 称为上下方向。 [0033] (主动隔振系统的整体结构) [0034] 如图1所示，主动隔振系统1包括四台种类相同的主动隔振装置20。各主动隔振装 置20皆为同型(相同尺寸、相同性能)。主动隔振系统1将被支承体3弹性地支承在基础2上， 通过对被支承体3施加减轻规定方向上的振动的控制力，来控制被支承体3的振动。基础2例 如是供布置主动隔振装置20的地面。 [0035] 被支承体3由如半导体制造装置或电子显微镜等容易受到振动影响的精密设备4 和供放置精密设备4的工作台5构成。 [0036] 工作台5为四腿结构，具有大致正方形的水平板5a、从水平板的四角向下方延伸的 四个腿部5b、将相邻的腿部5b相互连结的梁部5c、以及设置在各腿部5b的下端的用于调整 高度的高度调整部件5e。 [0037] 各主动隔振装置20以支承被支承体3的方式布置在基础2上相互不同的位置，以对 应工作台5的四个腿部5b的方式前后左右排列。各主动隔振装置20以相互不接触的状态布 置，在相邻的主动隔振装置20之间设置有间隙。 [0038] 各主动隔振装置20布置成分别支承工作台5的一个腿部5b(调整部件5e)。由各主 动隔振装置20的上表面的中央部位承载各腿部5b，以便使载荷均匀地施加在各主动隔振装 置20上。 [0039] 详细而言，四个主动隔振装置20包括第一主动隔振装置201、第二主动隔振装置 202、第三主动隔振装置203以及第四主动隔振装置204。四个腿部5b包括第一腿部5b1、第二 腿部5b2、第三腿部5b3以及第四腿部5b4。第一主动隔振装置201上承载有第一腿部5b1。第 二主动隔振装置202上承载有第二腿部5b2。第三主动隔振装置203上承载有第三腿部5b3。 第四主动隔振装置204上承载有第四腿部5b4。需要说明的是，在图1中，对于腿部5b仅对第 一腿部5b1标注符号来作为代表，省略了第二腿部5b2、第三腿部5b3以及第四腿部5b4的符 号(参照图5)。 [0040] 在图1中，符号P1表示被支承体3的与第一主动隔振装置201的布置位置对应的部 分，等同于第一腿部5b1。符号Q1表示基础2的与第一主动隔振装置201的布置位置相对应的 部分，等同于基础2的第一主动隔振装置201的正下方部分。 [0041] 符号P2表示被支承体3的与第二主动隔振装置202的布置位置对应的部分，等同于 第二腿部5b2，在图1中省略了图示(参照图5)。符号Q2表示基础2的与第二主动隔振装置202 的布置位置对应的部分，等同于基础2的第二主动隔振装置202的正下方部分。同样，符号P3 表示被支承体3的与第三主动隔振装置203的布置位置对应的部分，等同于第三腿部5b3。符 号Q3表示基础2的与第三主动隔振装置203的布置位置对应的部分，等同于基础2的第三主 动隔振装置203的正下方部分。符号P4表示被支承体3的与第四主动隔振装置204的布置位 置对应的部分，等同于第四腿部5b4。符号Q4表示基础2的与第四主动隔振装置204的布置位 5 5 CN 114623188 A 说明书 4/8页 置对应的部分，等同于基础2的第四主动隔振装置204的正下方部分。 [0042] (各主动隔振装置的结构) [0043] 如图1所示，各主动隔振装置20呈长方体状，从上方观察时大致为正方形，高度尺 寸比宽度尺寸小。各主动隔振装置20具有形成上表面的上板21、形成侧面的侧板22以及形 成下表面的下板23。 [0044] 如图2所示，侧板22及下板23彼此一体化，形成向上侧敞开的大致箱形状，上板21 (在图2中未图示)嵌入该开口中。 [0045] 各主动隔振装置20的内部结构具有：作为弹性体的四个螺旋弹簧24；六个致动器 25；作为振动检测单元的一部分的三个基础侧振动传感器(FF传感器)26；作为振动检测单 元的一部分的六个被支承体侧振动传感器(FB传感器)27；以及作为控制单元的控制器28。 [0046] 四个螺旋弹簧24分别通过由滚珠螺杆构成的调整部件29布置在下板23的上表面 的四个角落处。各螺旋弹簧24用于通过上板21及下板23将被支承体3弹性地支承在基础2 上。螺旋弹簧24是所谓的不等距弹簧。 [0047] 六个致动器25相对于主动隔振装置20的中心沿周向布置。六个致动器25构成三对 致动器，每对致动器由控制力的作用线相互平行延伸的两个致动器25、25构成。各致动器25 通过上板21对被支承体3施加控制力。致动器25为线以其控制力的作用方向相对于基础2倾斜的状态布置在下 板23上。各致动器25的作用方向相对于基础2的倾斜角度用θ表示。 [0049] 在下板23上安装有六个支承致动器25的支承部件30。各支承部件30使各致动器25 的作用方向相对于基础2倾斜。在各支承部件30上形成有与致动器25的控制力的作用方向 正交的支承面30a。 [0050] 各致动器25具有通过支架31固定在上板21上的筒壁部25a和在筒壁部25a内做往 复运动的滑动部件25b。 [0051] 滑动部件25b与支承部件30的支承面30a抵接。在筒壁部25a的内部设置有供与来 自控制器28的控制信号对应的电流流动的线圈(未图示)和磁铁(未图示)。滑动部件25b利 用由线圈和磁铁产生的电磁力做往复运动。通过滑动部件25b这样做往复运动，朝向与支承 面30a正交的方向的控制力便会通过上板21施加于被支承体3。 [0052] 六个致动器25分别沿着其作用方向对被支承体3施加控制力。其结果为，六个致动 器25在包括铅垂方向及水平方向的三个平移方向(X、Y、Z方向)以及绕各平移轴的三个旋转 方向(θx、θy、θz方向)上对被支承体3施加控制力。 [0053] 被支承体侧振动传感器27通过支架31与各致动器25设置为一体。与各致动器25的 作用方向一样，各被支承体侧振动传感器27以其检测方向相对于基础2倾斜的状态布置。致 动器25的作用方向的倾斜角度和被支承体侧振动传感器27的检测方向的倾斜角度都是θ， 彼此相等。 [0054] 被支承体侧振动传感器27是加速度传感器，检测作为被支承体3的振动状态的振 动加速度。六个被支承体侧振动传感器27分别通过检测被支承体3的位于其检测方向上的 振动加速度，而在被支承体3的包括铅垂方向及水平方向的三个平移方向(X、Y、Z方向)及绕 各平移轴的三个旋转方向(θx、θy、θz方向)上检测振动加速度。 [0055] 如图2所示，三个基础侧振动传感器26在以主动隔振装置20的中心为基准靠Y方向 6 6 CN 114623188 A 说明书 5/8页 的一侧(图2中的下侧)，相对于中心沿周向布置。 [0056] 如图4所示，各基础侧振动传感器26以其检测方向相对于基础2为倾斜的状态布置 在下板23上。各致动器25的作用方向的倾斜角度和各基础侧振动传感器26的检测方向的倾 斜角度都是θ，彼此相等。 [0057] 也就是说，各被支承体侧振动传感器27的检测方向的倾斜角度和各基础侧振动传 感器26的检测方向的倾斜角度都是θ，彼此相等。 [0058] 在下板23上安装有支承基础侧振动传感器26的三个支承部件32。各支承部件32使 各基础侧振动传感器26的检测方向相对于基础2倾斜。在各支承部件32上形成有与基础侧 振动传感器26的检测方向正交的支承面32a。基础侧振动传感器26具有大致圆柱状的主体 部26a和设置在主体部26a的周缘部的凸缘部26b。主体部26a插入在开设在支承面32a上的 孔(未图示)中。凸缘部26b在已与支承面32a抵接的状态下用螺栓与固定板33紧固在一起。 这样一来，基础侧振动传感器26便被固定在支承部件32上。 [0059] 基础侧振动传感器26是加速度传感器，检测作为基础2的振动状态的振动加速度。 三个基础侧振动传感器26分别通过检测基础2的在其检测方向上的振动加速度，而在基础2 的包括铅垂方向及水平方向的三个平移方向(X、Y、Z方向)及绕各平移轴的三个旋转方向(θ x、θy、θz方向)上检测振动加速度。 [0060] 各被支承体侧振动传感器27及各基础侧振动传感器26双方都是布置在铅垂方向 (Z方向)上基础2与被支承体3之间。详细而言，如图3、图4所示，各被支承体侧振动传感器27 及各基础侧振动传感器26双方都是布置在铅垂方向(Z方向)上且上板21与下板23之间。如 图2所示，各被支承体侧振动传感器27及各基础侧振动传感器26双方都是布置在水平方向 (X方向、Y方向)上侧板22的内侧。更具体而言，如图2所示，各被支承体侧振动传感器27及各 基础侧振动传感器26在水平方向(X方向、Y方向)上布置成以后述的控制器28的中央部(参 照图2的黑点)为基准靠近侧板22的位置。 [0061] 在上板21的下表面中央位置安装有用于控制各致动器25的控制器28(在图2中以 双点划线示出)。各被支承体侧振动传感器27及各基础侧振动传感器26以包围绕控制器28 的方式布置。 [0062] 控制器28基于从各被支承体侧振动传感器27输入的信号，亦即基于各被支承体侧 振动传感器27已检测出的被支承体3的振动加速度，向各致动器25输出控制信号，来对各致 动器25进行反馈控制，以便对被支承体3施加用于减轻被支承体3的振动的控制力。 [0063] 例如，控制器28对振动加速度的积分值进行滤波处理，再在已进行过滤波处理的 积分值上乘以反馈增益，获得已进行过滤波处理且乘上了反馈增益的积分值的总和，然后 将该总和反转。反转后的总和被作为对致动器25的控制输入使用。 [0064] 控制器28基于从各基础侧振动传感器26输入的信号，亦即基于各基础侧振动传感 器26已检测出的基础2的振动加速度，向各致动器25输出控制信号，来对各致动器25进行前 馈控制，以便对被支承体3施加用于减轻从基础2传递到被支承体3的振动的控制力。 [0065] 例如，控制器28对来自基础2的振动进行滤波处理，再在已进行过滤波处理的振动 上乘以前馈增益，将已进行过滤波处理且已乘上了前馈增益的振动追加到致动器25的控制 输入中。 [0066] (主动隔振系统整体的控制方式) 7 7 CN 114623188 A 说明书 6/8页 [0067] 如图5所示，各主动隔振装置20布置在基础2上相互不同的位置以支承被支承体3。 各主动隔振装置20作为主动隔振单元自成一体，相互独立。各主动隔振装置20的控制器28 构成为：基于被支承体侧振动传感器27及基础侧振动传感器26已检测出的、被支承体3及基 础2的与该布置位置对应的部分的振动加速度，独立于其他主动隔振装置20的控制器28，单 独地对作为被支承体3的与该布置位置对应的部分的腿部5b施加控制力。 [0068] 详细而言，各主动隔振装置20构成为在执行隔振控制的过程中不相互发送和接收 各种电信号。更详细而言，一个主动隔振装置20产生与上述控制力对应的控制信号，与其他 主动隔振装置20中的被支承体侧振动传感器27及基础侧振动传感器26毫无关系。同时，一 个主动隔振装置20构成为不将这样产生的控制信号输入给其他主动隔振装置20。 [0069] 具体而言，各主动隔振装置20的控制器28基于被支承体侧振动传感器27已检测出 的、被支承体3的与该布置位置对应的部分(腿部5b)的振动加速度，来对致动器25进行反馈 控制以便减轻被支承体3的振动。 [0070] 此外，各主动隔振装置20的控制器28基于基础侧振动传感器26已检测出的、基础2 的与该布置位置对应的部分的振动加速度，来对致动器25进行前馈控制以便减轻从基础2 传递给被支承体3的振动。 [0071] 例如，第一主动隔振装置201的控制器28基于被支承体侧振动传感器27已检测出 的、被支承体3的与该布置位置对应的部分P1(第一腿部5b1)的振动加速度，对致动器25进 行反馈控制，以便对被支承体3的与该布置位置对应的部分P1(第一腿部5b1)施加控制力。 [0072] 第一主动隔振装置201的控制器28基于基础侧振动传感器26已检测出的、基础2的 与该布置位置对应的部分Q1(第一主动隔振装置201的正下方)的振动加速度，对致动器25 进行前馈控制，以便对被支承体3的与该布置位置对应的部分P1(第一腿部5b1)施加控制 力。 [0073] 其他主动隔振装置202、203、204也相同。第二主动隔振装置202基于被支承体3的 部分P2(第二腿部5b2)及基础2的部分Q2(第二主动隔振装置202的正下方)的振动加速度， 来对被支承体3的部分P2(第二腿部5b2)施加控制力。第三主动隔振装置203基于被支承体3 的部分P3(第三腿部5b3)及基础2的部分Q3(第三主动隔振装置203的正下方)的振动加速 度，来对被支承体3的部分P3(第三腿部5b3)施加控制力。第四主动隔振装置204基于被支承 体3的部分P4(第四腿部5b4)及基础2的部分Q4(第四主动隔振装置204的正下方)的振动加 速度，来对被支承体3的部分P4(第四腿部5b4)施加控制力。 [0074] (作用和效果) [0075] 如上所述，根据本实施方式，能够基于每个主动隔振装置20的不同布置位置的振 动状态，来个别地进行隔振控制。因此，与基于被支承体3整体或者基础2整体的振动状态进 行的控制方法相比，能够充分地发挥隔振性能。 [0076] 由于仅通过四台主动隔振装置20来支承被支承体3即可，因此结构简单。 [0077] 以上，主动隔振系统1能够以简单的结构来实现隔振性能的提升。 [0078] 通过根据被支承体3的基于主动隔振装置20的各布置位置的不同而不同的振动状 态，亦即根据基于被支承体3的各部位的不同而不同的振动状态来进行反馈控制，能够提升 隔振性能。 [0079] 根据基于主动隔振装置20的各布置位置的不同而不同的基础2的振动状态，亦即 8 8 CN 114623188 A 说明书 7/8页 根据基于基础2的各部位的不同而不同的振动状态来进行前馈控制，能够提升隔振性能。特 别是在基础2的状态不良、振动状态容易因部位而异的情况下有效。 [0080] 由于致动器25相对于基础2倾斜，因此能够利用一个致动器25在铅垂方向及水平 方向这两个方向上对被支承体3施加控制力。这样一来，便能够提升致动器25的布局自由 度。因此，与各致动器25相对于基础2不倾斜而仅布置在铅垂方向及水平方向的情况相比， 能够减少致动器25的个数。 [0081] 并且，通过使致动器25相对于基础2倾斜，能够减小上板21与下板23之间的距离， 因此能够降低主动隔振装置20的高度。 [0082] 由于被支承体侧振动传感器27相对于基础2倾斜，因此利用一个被支承体侧振动 传感器27就能够检测被支承体3在铅垂方向及水平方向这两个方向上的振动状态。这样一 来，便能够提升被支承体侧振动传感器27的布局自由度。因此，与各被支承体侧振动传感器 27相对于基础2不倾斜而仅布置在铅垂方向及水平方向的情况相比，能够减少被支承体侧 振动传感器27的个数。 [0083] 进而，由于被支承体侧振动传感器27检测被支承体3的振动状态的方向与致动器 25施加控制力的方向彼此一致，因此不需要执行两者之间的角度变换，控制器28的结构变 得简单。 [0084] 由于基础侧振动传感器26也相对于基础2倾斜，且其倾斜角度与致动器25的倾斜 角度一致，因此能够得到与上述必赢网址被支承体侧振动传感器27的情况相同的效果。 [0085] 由于各主动隔振装置20以相互不接触的状态布置，因此能够抑制各主动隔振装置 20之间的控制力的相互干扰。 [0086] 通过各主动隔振装置20而能够在四个腿部5b稳定地支承被支承体3。 [0087] 即使各主动隔振装置20自身是小型的，也能够通过使用多台主动隔振装置20来支 承大型的被支承体3。 [0088] 与通过多台主动隔振装置来支承被支承体并且使各主动隔振装置相互配合来作 为一个系统整体进行主动隔振控制的主动隔振系统相比，具有无需构建复杂的控制系统、 安装时无需执行特殊的调整，现场安装作业容易等优点。 [0089] 由于各被支承体侧振动传感器27及各基础侧振动传感器26两者都布置在上板21 与下板23之间，因此与基础侧振动传感器26和被支承体侧振动传感器27中的任一个布置在 上板21的上侧或者下板23的下侧的情况相比，能够减小各主动隔振装置20在铅垂方向(Z方 向)上的尺寸。由于各被支承体侧振动传感器27及各基础侧振动传感器26都布置在侧板22 的内侧，因此与基础侧振动传感器26和被支承体侧振动传感器27中的任一个振动传感器布 置在侧板22的外侧的情况相比，能够减小各主动隔振装置20在水平方向(X方向、Y方向)上 的尺寸。 [0090] (其它实施方式) [0091] 以上利用优选实施方式对本公开做了说明，但以上所述并非限定事项，当然可以 对本公开做各种各样的改变。 [0092] 主动隔振装置20不一定需要设置四台，只要设置多台亦即至少两台以上即可。 [0093] 基础侧振动传感器26及被支承体侧振动传感器27不限定于加速度传感器，例如可 以是检测被支承体3相对于基础2的位移作为振动状态的位移传感器。 9 9 CN 114623188 A 说明书 8/8页 [0094] 在各主动隔振装置20中，作为振动检测单元，至少包括检测被支承体3的振动状态 的被支承体侧振动传感器27及检测基础2的振动状态的基础侧振动传感器26中的至少一者 即可。 [0095] 致动器25不一定要在三个旋转方向(θx、θy、θz方向)上施加控制力，只要最终结果 为在至少包括铅垂方向及水平方向的三个平移方向(X、Y、Z方向)上对被支承体3施加控制 力即可。 [0096] 被支承体侧振动传感器27不一定要检测三个旋转方向(θx、θy、θz方向)上的振动 状态，只要最终结果为在至少包括铅垂方向及水平方向的三个平移方向(X、Y、Z方向)上检 测被支承体3的振动状态即可。 [0097] 基础侧振动传感器26不一定要检测三个旋转方向(θx、θy、θz方向)上的振动状态， 只要最终结果为在至少包括铅垂方向及水平方向的三个平移方向(X、Y、Z方向)上检测基础 2的振动状态即可。 [0098] 可以在各主动隔振装置20与基础2之间夹设平台(Surface Plate)。还可以在各主 动隔振装置20与被支承体3之间夹设平台。该平台也可以包括在被支承体或基础中。 [0099] 致动器25不限定于线性电机，例如可以是空气弹簧等。 [0100] 上述反馈控制及前馈控制的具体方法仅为示例，可以采用其他方法。例如，在如上 所述使用位移传感器的情况下，控制器28能够进行位移反馈控制，该位移反馈控制构成为 将位移传感器已检测出的位移减小。 [0101] 各主动隔振装置20可以不必彼此相同，其尺寸或性能可以不同。例如，在被支承体 3的重心在水平方向上偏离该被支承体3的中心情况、或被支承体3的载荷分布存在偏差的 情况下等，能够想到以下做法：通过刻意地使各主动隔振装置20的尺寸或性能具有差异来 抵消重心的偏心或载荷分布的偏差所引起的不平衡等。各主动隔振装置20不一定要前后左 右排列，例如可以将三台主动隔振装置20排列成三角形。 [0102] 【实施例】 [0103] (实施例) [0104] 使用了本实施方式所涉及的主动隔振系统1。用四台主动隔振装置20支承约300kg 的被支承体3。 [0105] (比较例) [0106] 用一台现有技术中的主动隔振装置支承约600kg的被支承体。 [0107] 图6表示实施例及比较例所涉及的隔振性能的图表。横轴表示频率[Hz]，纵轴表示 振动传递率[dB]。振动传递率以分贝表示被支承体3的加速度振幅相对于基础2的加速度振 幅之比。若振动传递率为0dB以下，则可以说在该频率区域中已适当地进行了隔振。在本实 施例中，在所测量的几乎所有频率区域中，亦即在频率为50Hz以下的大部分区域中，振动传 递率都为0dB以下，可以说已适当地进行了隔振。由于被支承体的重量不同，因此无法简单 地进行比较，但本实施例，特别是在频率15～30Hz的区域中，相对于比较例显示出较高的隔 振性能。 [0108] －产业实用性－ [0109] 本公开能够应用于主动隔振装置，因此极其有用，产业实用性高。 10 10 CN 114623188 A 说明书附图 1/6页 图1 11 11 CN 114623188 A 说明书附图 2/6页 图2 12 12 CN 114623188 A 说明书附图 3/6页 图3 13 13 CN 114623188 A 说明书附图 4/6页 图4 14 14 CN 114623188 A 说明书附图 5/6页 图5 15 15 CN 114623188 A 说明书附图 6/6页 图6 16 16

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